Источники быстрых атомов

Автор
Григорьев, С.Н.
Место издания
М.
УДК 621.785.5
Григорьев, С.Н.
Источники быстрых атомов газа и атомов металла для обработки изделий [Текст] : моногр. / С. Н. Григорьев, Ю. А. Мельник, А. С. Метель. - М. : Курс, 2016. - 176 с. : ил.
диэлектрик
В монографии рассматриваются источники широких пучков быстрых нейтральных атомов газа и протоков атомов металла для обработки поверхности изделий. Излагаются физические основы генерации используемого в них плазменного эмиттера ионов в тлеющем разряде с электростатическим удержанием электронов. Описаны источники для синтеза покрытий на изделиях сложной геометрической формы из диэлектрических материалов с единой эмиссионной сеткой для атомов металла и сопровождающих их быстрых атомов газа.