Место издания
Владикавказ

Физико-химические основы и технология получения тонких пленок резистивным напылением. : учеб. пособие / Силаев И. В. [и др.]; Сев.-Осет. гос. ун-т им. К.Л. Хетагурова (СОГУ). – Владикавказ: Изд-во СОГУ, 2016. – 136 с. : ил.
ISBN 978-5-8336-0892-0
Учебное пособие предназначено для студентов, изучающих вакуумную технику и технологию полупроводниковых приборов.